FSU-8光刻膠(FSU-8 negative fluorinated photoresist)(無儲存經營)
規格:本產品符合以下指標
Specification:Meet the following criteria
項目 Project |
指標 Index |
外觀 Appearance |
無色透明液體 Colorless transparent liquid |
折射率(n20D) Refractive Index(n20D) |
1.5154 |
光損耗 Optical loss |
0.21dB/cm(1550 nm) |
粘度(pa.s,25℃) Viscosity(pa.s,25℃) |
250 |
勻膠厚度(μm) Film thickness(μm) |
0.5-200 |
聚合度 Degree of polymerization |
4-8 |
包裝 Packaging |
100ml、250ml、500ml |
新型的含氟FSU- 8 膠是一種負性、環氧樹脂型、近紫外線光刻膠,具有傳統SU-8光刻膠的優點:適合于制備高深寬比微結構,可得到具有垂直側壁和高深寬比的厚膜圖形;它還具有良好的力學性能、抗化學腐蝕性和熱穩定性。FSU- 8 含有大量的C-F鍵,可以進一步的增加材料的耐腐蝕性、耐候性,并且在通訊波長(850、1310、1550nm)具有極低的光學損耗、低雙折射率、高穩定性。材料的折射率在1.483~1.588范圍內可調,適宜于制作陣列式光波導、光柵、直型波導等光通信、調制、傳輸等器件。
關鍵詞:廠房、公共建筑工程
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